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　　纳米线宽标准物质可满足集成电路中纳米线宽的原子级准确度测量要求，应用空间广阔。 纳米线宽标准物质是用于集成电路中纳米线宽测量和校准的标准物质。标准物质（RM）是具有均匀性和确定性的特性量值半岛全站，用于物质赋值、校准仪器和评价检测方法或仪器性能的物质半岛全站平台半岛全站平台